クリーン環境の予備知識
- 粒子の大きさとフィルターの関係
- クラス別の主な作業（参考）
- 清浄度クラス
- 清浄度の規格は、米国連邦規格が業界では長らく慣用されてきましたが、ISO14644-1、JIS B 9920-1に置き変わってきています。
| 清浄度クラス （N） |
次の対象粒径以上 a)の粒子に対する上限粒子数濃度（個/m3） | |
|---|---|---|
| 0.3 µm | 0.5 µm | |
| 1 | c) | c) |
| 2 | 10 | c) |
| 3 | 102 | 35 |
| 4 | 1,020 | 352 |
| 5 | 10,200 | 3,520 |
| 6 | 102,000 | 32,500 |
| 7 | b) | 352,000 |
| 8 | b) | 3,520,000 |
| 9 | b) | 35,200,000 |
注
- a) この表の最大許容粒子数は、対象粒径以上の粒子数の累積値を示す。例えば、清浄度クラス5、0.3µmに示す10,200個の粒子は、同粒径及びその粒径以上の全ての粒子を含む。
- b) 非常に粒子濃度が高いため、表のこの領域に濃度限界は適用しない。
- c) 低濃度のため粒子のサンプリング及び統計処理は、クラス分類に不適切である。
- （JIS B 9920-1より抜粋）
CL-901除塵性能
（実測値）
8,942,989 p/m3（0.5µm）
CL-901最大伸長時（2530mm）
始動後15分後に1000mm高のそれぞれの個所で測定。
| 測定個所 | 0.3 µm |
0.5 µm |
|---|---|---|
| ① | 633,510 | 85,002 |
| ② | 661,515 | 87,298 |
| ③ | 490,309 | 69,040 |
| ④ | 302,929 | 43,684 |
| ⑤ | 416,007 | 58,552 |
| ⑥ | 199,104 | 27,722 |
| ⑦ | 343,895 | 53,890 |
| ⑧ | 424,906 | 64,308 |
| ⑨ | 643,964 | 98,811 |
| ⑩ | 581,633 | 85,214 |
不織布（プレフィルター）
（HEPA / プレフィルター装着時）
ブース
168～57回 / h（60Hz） （縮小時～拡張時）
1000～10000（米国連邦規格209E）
（帯電防止剤練り込み） 厚さ0.3mm
（シート12kg＋フレーム25.5kg＋FFU13.5kg）