クリーン環境の予備知識
- 粒子の大きさとフィルターの関係
- クラス別の主な作業（参考）
- 清浄度クラス
- 清浄度の規格は、米国連邦規格が業界では長らく慣用されてきましたが、ISO14644-1、JIS B 9920-1に置き変わってきています。
| 清浄度クラス （N） |
次の対象粒径以上 a)の粒子に対する上限粒子数濃度（個/m3） | |
|---|---|---|
| 0.3 µm | 0.5 µm | |
| 1 | c) | c) |
| 2 | 10 | c) |
| 3 | 102 | 35 |
| 4 | 1,020 | 352 |
| 5 | 10,200 | 3,520 |
| 6 | 102,000 | 32,500 |
| 7 | b) | 352,000 |
| 8 | b) | 3,520,000 |
| 9 | b) | 35,200,000 |
注
- a) この表の最大許容粒子数は、対象粒径以上の粒子数の累積値を示す。例えば、清浄度クラス5、0.3µmに示す10,200個の粒子は、同粒径及びその粒径以上の全ての粒子を含む。
- b) 非常に粒子濃度が高いため、表のこの領域に濃度限界は適用しない。
- c) 低濃度のため粒子のサンプリング及び統計処理は、クラス分類に不適切である。
- （JIS B 9920-1より抜粋）
CL-909除塵性能
（実測値）
ブース内の清浄度（初期値）2,703,270（p／m3）
CL-909最大伸長時（2530mm）
ダンパは4か所全閉し、始動後15分後に1000mm高のそれぞれの個所で測定。
| 測定個所 | 0.3 µm |
0.5 µm |
|---|---|---|
| ① | 70,029 | 8,334 |
| ② | 38,069 | 6,321 |
| ③ | 22,178 | 6,922 |
| ④ | 31,324 | 5,297 |
| ⑤ | 21,154 | 3,673 |
| ⑥ | 8,970 | 1,660 |
| ⑦ | 13,914 | 2,190 |
| ⑧ | 11,689 | 1,695 |
| ⑨ | 20,200 | 6,286 |
| ⑩ | 15,362 | 3,108 |
汚染空間内での陽圧ブース設置案
陰圧室の中に陽圧であるCL-909 陽圧ブースを設置すると、CL-909内は陰圧室に対し相対的に陽圧となるため、清浄空間を確保することができます。
また、CL-909に出入口シートを追加し両面出入口にすることで、汚染空間から清浄空間に移動する際に、陽圧ブース内で防護服を脱げば作業者の安全と清浄空間の維持が両立できます。
不織布（プレフィルター）
（HEPA / プレフィルター装着時）
ブース
168～57回 / h（60Hz） （縮小時～拡張時）
3～22Pa（60Hz）
（ダンパ4カ所全開～全閉時）
1000～10000（米国連邦規格209E）
70～44dB（60Hz）
（帯電防止剤練り込み） 厚さ0.3mm
（シート14kg＋フレーム27.5kg＋FFU13.5kg）