







CL-901
CL-903
CL-907
HEPAフィルターを通した清浄な空気をブース内へ導入し、内部の気圧を高めます。
外部との気圧差により、塵・ホコリの浸入を防ぎます。
用途例
清浄度クラス (N) |
次の対象粒径以上 a)の粒子に対する上限粒子数濃度(個/m3) | |
---|---|---|
0.3 µm | 0.5 µm | |
1 | c) | c) |
2 | 10 | c) |
3 | 102 | 35 |
4 | 1,020 | 352 |
5 | 10,200 | 3,520 |
6 | 102,000 | 32,500 |
7 | b) | 352,000 |
8 | b) | 3,520,000 |
9 | b) | 35,200,000 |
(実測値)
8,942,989 p/m3(0.5µm)
CL-901最大伸長時(2530mm)
始動後15分後に1000mm高のそれぞれの個所で測定。
測定個所 | 0.3 µm |
0.5 µm |
---|---|---|
① | 633,510 | 85,002 |
② | 661,515 | 87,298 |
③ | 490,309 | 69,040 |
④ | 302,929 | 43,684 |
⑤ | 416,007 | 58,552 |
⑥ | 199,104 | 27,722 |
⑦ | 343,895 | 53,890 |
⑧ | 424,906 | 64,308 |
⑨ | 643,964 | 98,811 |
⑩ | 581,633 | 85,214 |
製品詳細 >>>
製品詳細 >>>
製品詳細 >>>
製品詳細 >>>